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产品特性:氧化铌管靶 | 工件材质:陶瓷、氧化物 | 类型:真空镀 |
货号:UVTM | 打样周期:4-7天 | 加工周期:4-7天 |
年最大加工能力:9999件 | 年剩余加工能力:9999件 | 品牌:UVTM |
磁控溅射靶材主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等;亦可应用于玻璃镀膜领域;还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、***装饰用品等行业。透磁率可以作为评估磁性靶材透磁性能的有效指标,其测试方法还没有相应的行业标准,很大程度上制约了国内磁性溅射靶材的研发、制作及工业化生产。
磁控靶的实际的承载功率除了与溅射工艺、薄膜的质量要求等因数有关外,主要与靶的冷却状况和散热条件密切相关。磁控靶按其冷却散热方式的不同,分为“靶材直接水冷却”和“靶材间接水冷却”两种。考虑到溅射靶长期使用老化后,其散热条件变差;兼顾各种不同靶材材质的散热系数的不同,磁控靶的使用时的承载功率。
电阻率(20°C): ≤ 0.1Ω.cm 成型工艺: 喷涂 密度: ≥4.3g/cm?(≥95%) 纯度: ≥ 99.95%
化学式: Nb2Ox (4.3