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产品特性:铟合金靶材 | 品名:铟合金靶材 | 牌号:In99.993 |
产地:广东 | 铟含量≥:99.99% | 货号:In |
杂质含量:低于0.01% | 重量:30kg/块 | 品牌:UVTM |
高纯铟及铟合金是目前使用广泛的导电层薄膜材料之一。和超大规模集成电路芯片的制造对溅射靶材金属纯度的要求相比,太阳能电池用铟靶的金属纯度略低,99.995%(4N5)以上。目前制备薄膜电池较为常用的溅射靶材包括铟靶、铝靶、铜靶、钼靶、铬靶以及ITO靶、AZO靶(氧化铝锌)等。
光伏领域对靶材的使用主要是薄膜电池和HIT光伏电池。其中光伏薄膜电池用靶材主要为方形板状,纯度要求一般在99.***(4N)以上,仅次于半导体用靶材。HJT量产的关键点在于PECVD。2019年海外应材和梅耶博格的PECVD价格接近5亿元/GW,设备虽然成熟但价格太高,整线的设备投资达到7-8亿元。对比海内外四大设备,海外设备较为成熟,但核心设备价格较高不具备量产经济性。