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| 产品特性：溅射靶材 | 品名：锌铝合金 | 牌号：99:1（wt%） |
| 产地：广东 | 锌含量：99% | 是否危险化学品：否 |
| 货号：ZnAl | 杂质含量：少于0.05% | 粒度：200目 |
| 品牌：UVTM |
目前国内外都在推广应用旋转空心圆管磁控溅射靶，其优点是靶材可绕固定的条状磁铁组件旋转，因而360°靶面可被均匀刻蚀，利用***达80%。靶材的性能要求靶材制约着溅镀薄膜的物理、力学性能，影响镀膜质量，因而靶材质量评价较为严格，主要应满足如下要求；
1)杂质含量低，纯度高。靶材的纯度影响薄膜的均匀性。2)高致密度。高致密度靶材具有导电、导热性好、强度高等优点，使用这种靶材镀膜，溅射功率小，成膜速***，薄膜不易开裂，靶材使用寿命长，而且溅镀薄膜的电阻率低，透光***。3)成分与组织结构均匀。靶材成分均匀是镀膜质量稳定的重要***。在轴间等距离的环形表面上形成刻蚀区，其缺点是薄膜沉积厚度均匀性不易控制，靶材的利用率较低，仅为20%~30%。
