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产品特性:旋转铜锌靶 | 工件材质:旋转铜锌靶 | 类型:真空镀 |
货号:UVTM | 打样周期:8-15天 | 加工周期:8-15天 |
年最大加工能力:99999件 | 年剩余加工能力:99999件 | 品牌:UVTM |
靶材的密实度也对镀膜过程及膜层的性能有着重要的影响,靶材的密实度不仅影响溅射时的沉积速率、溅射膜粒子的密度和放电现象等,还影响着溅射薄膜的电学和光学性能。靶材越密实,溅射膜粒子的密越低,放电现象越弱,而薄膜的性能也越好。
高纯溅射靶材主要是指纯度为99.9%-99.99***(3N-6N之间)的金属或非金属靶材,应用于电子元器件制造的物理-气象沉积(PVD)工艺,是制备晶圆、面板、太阳能电池等表面电子薄膜的关键材料。。自19世纪中期至今,溅射镀膜技术经历了170年的沉淀与发展逐步走向成熟。溅射镀膜技术起源于国外,所需要的溅射材料——靶材也起源发展于国外。1842年格波夫在实验室中发现了阴极溅射现象。